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TCL华星再攻关键材料自产高地,自研铜酸聚焦价值重构
近期,TCL华星自研铜酸项目获得突破性进展,解决了高铜离子浓度下安全性问题及蚀刻速率下降的关键技术瓶颈,实现了铜酸极致寿命8000ppm,远超业界高双氧水一剂型体系7000ppm的上限。
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业界供稿 2022-07-14 17:54:53
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